纯水/超纯水最初是美国科技界为研制超纯材料（半导体原件材料、纳米精细陶瓷材料等）应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其他适当的超临界精细技术生产出来的水，如今超纯水已在电子、生物、医药等领域广泛应用。

纯水/超纯水制备工艺大致分为以下3种：

1、采用离子交换树脂制备的传统水处理工艺

2、采用反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合制备工艺

3、采用反渗透与电去离子技术（EDI）设备进行组合制备工艺，这是一种之前纯水/超纯水的最新工艺，也使得一种环保经济，发展潜力巨大的纯水/超纯水制备工艺。

工业用纯水/超纯水的应用领域：

1、半导体材料、器件、印刷电路板和集成电器成品、半成品用纯水/超纯水

2、超纯水材料和超纯化学试剂勾兑用纯水/超纯水

3、汽车、家电表面抛光处理

   4、光电子产品及其他高科技精微产品